西森BST6600系列擴散硅壓力變送器，廣泛應用于工業(yè)自動(dòng)化設備、石油、化工、冶金、電力等控制領(lǐng)域，它是利用壓阻效應原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴散，制成應變電阻、構成惠斯通電橋，利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個(gè)集力敏與力電轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。那么它在實(shí)際應用中有哪些技術(shù)特點(diǎn)呢？

    1、精度高擴散硅壓力傳感器的感受、敏感轉換和檢測三位一體，無(wú)機械動(dòng)件連接轉換環(huán)節，所以不重復性和遲滯誤差很小。因此綜合表態(tài)精度很高。

    2、可靠性高擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應變數量級，膜片最大位移量在來(lái)微米數量級，且無(wú)機械磨損，無(wú)疲勞，無(wú)老化。平均無(wú)故障時(shí)間長(cháng)，性能穩定，可靠性高。

    3、靈敏度高擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應變片高50~80倍，它的滿(mǎn)量程信號輸出在80-100mv左右。對接囗電路適配性好，應用成本相應較低。由于它輸入激勵電壓低，輸出信號大，且無(wú)機械動(dòng)件損耗，因而分辯率極高。

    4、頻響高由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高，一般在50KC。制造過(guò)程采用了集成工藝，膜片的有效面積可以很小，配以剛性結構前置安裝特殊設計，使傳感器頻率響應很高，使用帶寬可達零頻至100千赫茲。

    5、度性能好隨著(zhù)集成工藝技術(shù)進(jìn)步，擴散硅敏感膜的四個(gè)電阻一致性得到進(jìn)一步提高，原始的手工補償已被激光調阻、計算機自動(dòng)休整技術(shù)所替代，傳感器的零位和靈敏度溫度系數已達10-5/℃數量級，工作溫度也大幅度提高。

    6、擴散硅壓力變送器的抗電擊穿性能好由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴散硅傳感器不但可以做到130℃正常使用，在強磁場(chǎng)、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊壓力變送器。

    7、耐腐蝕性好由于擴散硅材料本身優(yōu)良的化學(xué)防腐性能好，即使傳感器受壓面不隔離，出能在普通使用中適應各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔

    BST6600系列壓力變送器，采用金屬擴散硅傳感器，金屬的延展性、精度及各方面的綜合指標是很多其他類(lèi)型傳感器無(wú)可比擬的。傳感器選用美國GE集團NOVA公司進(jìn)口壓力傳感器或者M(jìn)ICROSENSOR公司合資壓力傳感器，產(chǎn)品由高精度傳感器和高集成化電子線(xiàn)路及不銹鋼外殼組成。廣泛應用于空調設備、恒壓供水、自動(dòng)化控制、空壓機、制冷設備、水處理系統、液壓系統、工程機械、發(fā)酵罐過(guò)程檢測等。